ulvac-kiko多級羅茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10
ulvac-kiko多級羅茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10
通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。
特點
高溫區域均熱化
實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規格
| 型號 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩定時 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮 | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
