特點
長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
1 秒內(nèi)穩(wěn)定
滿量程流速高達 300 slpm
全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理
耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺設備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
通過有源溫度補償實現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范
內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨立的診斷/維護端口
帶有 VCR 配件的細線體設計
DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢
1 秒完成流量穩(wěn)定，消除廢氣和過程變量影響
未采用會發(fā)生氧滲透并且使用一定時間之后需要進行更換的彈性體密封件
MultiFloTM 精簡了過程氣體切換操作 — 無需再拆除并重新校準 MFC
60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設定操作
測量精度不受溫度變化影響
可輕松訪問診斷端口以實現(xiàn)運行時間
規(guī)格緊湊，可輕松集成至緊張的設備空間內(nèi)；設備改型的選擇
多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
應用
對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進行經(jīng)濟高效的改型/升級
減少六英寸/八英寸半導體工廠的 MFC 庫存
用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
太陽能/薄膜化學氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)
分析用 OEM 設備
