Lam 9600 旨在蝕刻具有高度垂直側壁的鋁金屬和 TiW 層，適用于 0.35 um 線寬。等離子體是一種中高密度、變壓器耦合等離子體，類似于 ICP 源，允許單獨控制線圈（頂部電極）功率和壓板（下部電極）功率。在腔室中，晶圓被機械夾持到水冷壓板上，He 背面氣體提供耦合。Cl2/BCl3 化學成分用于 Al 和 SF6 用于 TiW 層。TiW 蝕刻和 Cl 鈍化步驟（也使用 SF6）可以在出口鎖或主腔室中進行。預計 Cl 化學對 Al2O3 層以及具有最小底切的硅溝槽有效。
青島佳鼎實驗室，坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初，便誓將科技之光照耀四方。
十年的時間里，公司因擴展數度搬遷，最后選擇接受博士創業園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發團隊，也是以博士后為主。這就為我們今后的發展奠定了堅實的基礎，使我們在未來的發展中，有底氣的大踏步前進。目前，佳鼎實驗室已經形成了一站式服務，不僅有實驗室分析儀器設備的研發和銷售，更有實驗室的整體交付。做到了初時毛坯，再見時嚴謹整潔，隨時可以為人類健康貢獻自己的力量。
產品服務于各行各業，從科研機構到環境、食品，從醫藥生物到電子電器。我們從不止步于國內，放眼，我們聯合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內的多國實驗室，并且積累了大量的科研資料，在分析設備的研發領域做了大量的深度工作。
佳鼎實驗室堅信以質量為生命，以客戶為中心的經營理念，為打造實驗室建設規范化而不斷奮斗。
