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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 21:16:05
  • 訪問次數(shù)111
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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要?! ∩蜿柨凭Я⒆銍鴥?nèi)市場實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價(jià)比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國?! ∩蜿柨凭б恢敝铝τ诟叩仍盒!⒀芯克⑸a(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長期合作的榮譽(yù)客戶?! ∩蜿柨凭榱烁玫胤?wù)客戶,專門設(shè)立了開放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開設(shè)以來,制作的樣品達(dá)上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁┎少徑ㄗh與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會(huì)成為國際市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。

 

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 

產(chǎn)品型號(hào)

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

安裝條件

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

2、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá)109cm3-1012cm3。

3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì),可準(zhǔn)確地控制氣體流量。

5、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分,可手動(dòng)控制混合氣體的輸入。

7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源:AC220V  4KW

2、爐管:Ø50mm,Ø60mm,Ø80mm都可用

3、溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū):440mm

5、恒溫區(qū):150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率:AC220V  1KW

2、輸出功率:50W-500W可調(diào),±1%

3、RF頻率:13.56MHz

4、噪聲:≤55DB

5、冷卻:風(fēng)冷

真空泵和質(zhì)量流量計(jì)

1、真空度:10-3torr

2、波紋管:KF25系列

3、質(zhì)量流量計(jì):0-200,誤差0.02%,進(jìn)氣口采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量:120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

產(chǎn)品對(duì)比
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