半導體超純水說明
n 產品介紹：
EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于純水（UPW）制備中對總有機碳（TOC）進行降解的先進可靠系統。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制，實現高效、安全可控的總有機碳（TOC）降解。該設備在超純水制備工藝中，可使純水TOC降至1ppb以下。
n 主要優勢：
2 安全可控
真空級平行光束儀進行理論安全劑量指導設計，足夠紫外線劑量實時輸出可調，系統智能自控。
2 更高去除效率
更高純石英玻璃，系統185nm紫外線強度輸出較傳統產品提高50%以上。
2 CFD流體模擬
進行細節模擬設計，提高處理效率
2 性能穩定、操作簡便
本地與遠程控制，配備PLC、觸摸屏，紫外強度實時顯示及預警
2 先進的加工工藝
采用先進設備、工藝加工，反應器內外電解拋光，Ra<0.2
2 多形式選擇
滿足現場多樣化安裝形式，產品可選擇成套撬裝，占地面積小
半導體超純水產品規格：
處理水量 | 2~60m3/h |
燈管配置 | 12~48支 |
燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
石英套管 | T＞80%@185nm |
鎮流器 | 50~100%輸出功率可調 |
反應器材質 | 316L |
潔凈等級 | 內外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
額定壓力 | PN10 |
控制柜等級 | IP55，碳鋼噴塑 |
控制系統 | 本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統 |
UV強度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
半導體超純水說明應用領域：
1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路板
2. 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
4. 黑白顯像管熒光屏的生產、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗
5. 液晶顯示器的生產、屏面清洗
6. 集成電路生產中高純水清洗硅片
7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產
