簡介
Scia Finish 1500離子束拋光機用于高精度光學元件的表面拋光。該IBF系統采用高去除率、高穩定離子束源,配備高效真空系統,可用于24/7運行的批量生產。
常規屬性
- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面,通過控制離子束焦斑在局部區域的駐留時間,來實現表面材料的定量去除,從而實現拋光或表面修整
- 適合于大口徑光學元件長期穩定拋光
- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光
- 加工效率高
- 真空倉滑動門設計,可輕松裝載大型基板
- 針對批量生產的設計,真空恢復用時短
系統性能
簡介
Scia Finish 1500離子束拋光機用于高精度光學元件的表面拋光。該IBF系統采用高去除率、高穩定離子束源,配備高效真空系統,可用于24/7運行的批量生產。
常規屬性
- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面,通過控制離子束焦斑在局部區域的駐留時間,來實現表面材料的定量去除,從而實現拋光或表面修整
- 適合于大口徑光學元件長期穩定拋光
- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光
- 加工效率高
- 真空倉滑動門設計,可輕松裝載大型基板
- 針對批量生產的設計,真空恢復用時短
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