低溫泵又叫是冷凝泵,是利用低溫表面冷凝氣體的一種真空泵。使用低溫泵可以獲得清潔真空,而且這些真空抽氣速率大、壓力低,所以低溫泵被廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產等各個領域。那么對于河北低溫泵你們了解多少呢?
1.低溫泵口熱負荷的影響:低溫泵入口障板的熱負荷是有要求的,一般是按300K氣體計算,如果入口溫度過高,應立即將熱源屏蔽。否則可能使入口障板溫度超過100K,對吸附陣的溫度以及捕獲氣體都是有影響的。
2.低溫泵突然斷電對運行的影響:低溫泵連續運行中,活性炭吸附氦已飽和。如果吸附陣回溫,氦氣將釋放出來,通常是因為短時間停電。水蒸氣也將從二級冷屏及障板上解吸出來,被吸附陣吸附,如果有這種情況,低溫泵需要進行再生處理。
3.低溫系配置壓機的氦氣純度:氖是常見雜質,可能凝在一成二級冷頭腔內的低溫表面,導致密封件的磨損,所以一般氦壓機需要充以高純氬,氦壓機檢修時要特別注意充氦方法、不能帶入空氣,否則會使管路堵塞。
4.油霧對低溫泵的影響:使用低溫泵時,若真空室中有油霧氣源,會導致吸附陣中的活性炭受污染,使其失去抽氣能力。特別需要注意的是,在低溫泵再生時,也同樣需要防止油污染活性炭。
5.抽除有危險的氣體:低溫泵捕獲之后,再生時釋放出來,危及環境及人身安 全,所以低溫泵不宜用于抽除危險性氣體。
6.低溫系上的安 全閥:低溫泵再生時,捕獲氣體如果瞬間釋放出來,主要是由于溫度升高,這樣就造成低溫泵腔體內壓力升高,泵的安 全會受到嚴重威脅,為此,低溫泵要安裝安 全閥,以便超壓時放氣。安 全閥需要定期檢査,大型真空系統,低溫泵有時安裝高度較高,操作人員不易操作,更需要注意安 全閥的可靠性,否則會造成大事故。
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