沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備是采用沸石吸附物對有機氣體進行吸附的一種凈化設(shè)備，是利用吸附-濃縮-脫附三項連續(xù)變溫的吸、脫附程序，使低濃度、大風(fēng)量有機廢氣濃縮為濃度好、小風(fēng)量的濃縮氣體。沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備設(shè)備特性適合處理大風(fēng)量、低濃度、含多種有機成分的廢氣。VOCs廢氣通過疏水性沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后，能被吸附于沸石中，達到凈化廢氣的目的。經(jīng)過沸石吸附后的廢氣，去掉廢氣中揮發(fā)性的有機物，凈化后的廢氣直接通過煙囪排放到大氣中，轉(zhuǎn)輪持續(xù)以每小時1-6轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn)，同時將吸附的揮發(fā)性有機物傳送至脫附區(qū)。于脫附區(qū)中利用一小股加熱氣體將揮發(fā)性有機物進行脫附，吸附了有機物質(zhì)的轉(zhuǎn)輪在此區(qū)內(nèi)脫附，吸附在轉(zhuǎn)輪上的有機物被分離、脫附，脫附后的沸石轉(zhuǎn)輪通過冷卻區(qū)再次旋轉(zhuǎn)至吸附區(qū)，持續(xù)吸附揮發(fā)性有機氣體。脫附過程中產(chǎn)生的有機廢氣送至焚化爐進行燃燒轉(zhuǎn)化成二氧化碳及水蒸氣排放至大氣中。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備采用吸附-脫附-濃縮焚化三項連續(xù)程序。

沸石轉(zhuǎn)輪rto設(shè)備處理單元如下：

一、沸石轉(zhuǎn)輪的機體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經(jīng)燒結(jié)所做成，其中陶瓷纖維因具備高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不可燃及的特性而較受普遍使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。轉(zhuǎn)輪厚度一般為25cm-45cm。

二、沸石轉(zhuǎn)輪之基質(zhì)為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉(zhuǎn)輪，再分為兩個區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及循環(huán)脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附能力，有時會設(shè)計于兩區(qū)之間多一個冷卻區(qū)，通常吸附區(qū)大，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個小且面積相等之處理區(qū)域。

三、熱回收設(shè)備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達500-700℃，將此部分空氣經(jīng)由熱交換器將熱能加以回收，同時將干凈空氣溫度降低后將其導(dǎo)至轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)為轉(zhuǎn)輪進行脫附作用；若溫度太高則轉(zhuǎn)輪可能發(fā)生燃燒，因此進入轉(zhuǎn)輪之溫度不可太高，一般會設(shè)置兩段熱回收設(shè)備并增設(shè)一鼓風(fēng)機導(dǎo)入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內(nèi)。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)外，并可在制程端如光阻涂布機臺或去光阻制程廢氣出入口端加裝冷凝器，預(yù)先分流處理高沸點VOCs（如MEA、BDG、DMSO）。

沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉(zhuǎn)體，轉(zhuǎn)體由沸石吸附介質(zhì)與陶瓷纖維制成。轉(zhuǎn)輪上包含用以分開處理廢氣及處理后釋出干凈氣體之密封墊，其材質(zhì)為需能承受VOCS腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料制成(一般為硅)。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合隔離成基本之吸附區(qū)及循環(huán)脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附處理能力，則常見于前二區(qū)間加一隔離冷卻區(qū)。通常吸附區(qū)為大，而脫附區(qū)及冷卻區(qū)則為兩個小且面積相等之處理側(cè)。有時為特別需求亦可分成愈多串聯(lián)區(qū)；而吸附轉(zhuǎn)輪由一組電動驅(qū)動設(shè)備用以旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)輪，故轉(zhuǎn)輪處理時為可變速、且可控制每小時旋轉(zhuǎn)2至6轉(zhuǎn)之能力。