Dimension Labs 提供的共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行納米級測量的檢測儀器,以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面 3D圖像,通過系統軟件對器件表面 3D 圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的 2D、3D 參數,從而實現器件表面形貌 3D 測量的光學檢測儀器。
DL-CM-200共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、工、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。