規格號

SPR1000

SPR2000

測量范圍

X軸

100~220mm

Z軸

320~620mm

Z1軸

C:0~±30mm/R:±420μm

C:0~±30mm/R:±620μm

輪廓精度

Z1線性精度1

±（1.5+|0.2H|）μm

±（0.8+|0.2H|）μm

圓弧2

±（1.5+R/8)μm

±（1.5+R/12)μm

角度3

±2

±1

直線度

0.8μm/100mm

0.5μm/100mm

粗糙度精度

線性精度

≤±（7nm+3.5%）

≤±（5nm+2.8%）

殘值噪聲

≤0.025μm

≤0.005μm

重復性

1δ≤2nm

1δ≤1nm

截止波長

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

評定長度

λCX2、3、4、5、6、7

驅動速度

X軸

0.1~10mm/s

0.05~15mm/s

Z軸

0.5~10mm/s

0.2~15mm/s

測量功能

輪廓

各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑、可進行直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。

粗糙度

粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr

原始輪廓參數：Pa、Pt、Pp、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr