等離子刻蝕機(jī)，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
1.觸摸屏操作界面
2.數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
3.三色燈異常報(bào)警功能
4.自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
5.可存儲(chǔ)多套工藝配方
6.遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出（可選）
7.模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
等離子體處理可應(yīng)用于所有的基材，甚至復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、等離子體清洗，等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時(shí)的熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機(jī)的典型應(yīng)用包括：
等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、等離子刻蝕反應(yīng)、各向異性和各向同性失效分析應(yīng)用材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強(qiáng)粘接力、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用、聚合反應(yīng)、混合物清洗、預(yù)結(jié)合清洗
型號(hào) | JY-36LN | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換） | |
PLC（標(biāo)配）/PC（可選） | |||
操作系統(tǒng) | PLS定制 | ||
觸摸屏 | 15寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W650×D900×H1650mm | |
腔體 | 尺寸 | 320×280mm | |
材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | ||
電極 | 尺寸 | W390×D317mm | |
層數(shù) | 1-7層，可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計(jì) | 皮拉尼式真空計(jì) | 1個(gè) | |
流量計(jì) | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個(gè)；Ar、N2、O2（可選） | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 4KW | |
機(jī)臺(tái)供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 | ||
