PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
技術參數
主要特點 |
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參數 |
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產品規格 |
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可選配件 |
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質保期 | 一年質保期，終身維護 |
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小型等離子清洗機--PCE-6 產品信息
