多氣體，多量程，金屬密封的50至100slm質量流量控制器
G系列GM100A數字控制質量流量控制器可提供模擬量（0至5 VDC或4至20 mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點進行快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準可在校準氣體上產生設定點精度的1％。
· 流速從50到100 slm
· 金屬密封，帶彈性塞
· 多種數字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0％
· 少于750毫秒的建立時間
技術指標
控制范圍 | 滿量程的2％至100％ | 進氣壓力系數 | <讀數的0.02％/ psi |
滿量程流量范圍 | 50,000-100,000 sccm（相當于N2） | 典型建立時間 | <750毫秒，典型值在滿量程的10％以上 |
流量輸入輸出信號 | 電壓：（0至5 VDC）15針D型公頭，9針D型公頭，電流：4到20 mA 15針D型公頭 | 熱身時間 | 30分鐘 |
入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 工作溫度 | 10°至50°C |
正常工作壓力差 | 50,000-100,000 sccm; 40至80 psid | 儲存濕度 | 0至95％相對濕度，無凝結 |
耐壓 | 1000磅/平方英寸 | 貯存溫度 | -20°至80°C |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-10（scc / sec He） |
典型精度 | 20至100％滿量程時為設定值的±1％，2至20％滿量程時為額定值的±0.2％ | 封閉閥的泄漏完整性 | 在大氣壓力為40 psig時<滿量程的1.0％ |
重復性 | 讀數的±0.3％ | 濕材料 | 316L不銹鋼VAR，316不銹鋼，Elgiloy®，鎳 |
解析度 | 滿量程的0.1％ | 表面處理 | 平均Ra 10µ英寸 |
零溫度系數 | <滿量程的0.05％/°C | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
跨度溫度系數 | <0.08％的讀數/°C | 合規(guī) | CE認證 |
特征
多種數字和模擬接口選擇
GM100A數字控制MFC帶有模擬或數字I / O。數字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點提供快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。GM100A的模擬和數字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM100A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
標準3英寸占地面積
GM100A利用質量流量控制器使用的標準3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置，現(xiàn)在可在100 slm（N2當量）的流量下運行。
金屬密封
GM100A金屬密封MFC具有10 µ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質量流量控制器可用于高純度應用。
設定值精度的百分比
附帶的數字校準可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準氣體提供1％的設定點精度。設定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當質量流量為滿刻度的2至20％時，精度為滿刻度的±0.2％。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數據。
溫度傳感器
經過驗證的熱傳感器設計可提供出色的零穩(wěn)定性。美國號5461913。
