安全至上
高壓線多重防護(hù);外殼良好接地;真空互鎖; 系統(tǒng)
自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射;實(shí)體按鍵,很安全。
注重用戶體驗(yàn)
5英寸液晶屏,簡潔明了;
可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù),即可開始工作;
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度,無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動(dòng)放氣;樣品臺(tái)高度可調(diào)節(jié)。
信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示,簡單直觀;
靶材使用時(shí)間,儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄,直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài);
快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí),無需培訓(xùn),即可快速熟練操作設(shè)備;
應(yīng)用領(lǐng)域廣
濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷,因此適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品如生物、聚合
物等樣品;工作時(shí)真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場發(fā)射等高分辨觀測電極制備。
主要參數(shù)
輸入電壓:AC220V±10%,50Hz
工作電壓:DC600V
上限功率:(主機(jī)與機(jī)械泵) 450W
可選靶材:金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬
真空泵:兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s
真空腔:約φ125×125mm
樣品杯:φ64×1
整機(jī)尺寸:(長×寬×高) 424×271×255(mm)
重量(主機(jī)): 11 kg
工作環(huán)境:溫度 5~40℃,濕度<60%
存儲(chǔ)環(huán)境:溫度-10~60℃,濕度<80%
工作氣體:Air / Ar
保護(hù)功能:過流、真空雙保護(hù)