PMC程控潔凈烘箱是一臺針對集成電路封裝生產(chǎn)線塑封后固化時存在的污染、分層、變色等問題而研制的烘箱,通過強制排風(fēng),帶走烘烤揮發(fā)物,將各種動作、邏輯關(guān)系、相關(guān)保護、參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)通信程序化,操作員只是簡單的操作即可完成整個工藝段的烘烤,提高了烘烤工藝的可控性,增加了烘烤溫度曲線對應(yīng)產(chǎn)品序號的可追溯性。
程控潔凈烘箱規(guī)格表
序號 | 項目內(nèi)容 | PMC程控潔凈烘箱 | PMC程控潔凈烘箱 |
1 | 型號 | HTM-2363 | HTM-2364 |
2 | 使用工序 | 后固化/測試/電鍍 | 后固化/測試/電鍍(充氮) |
3 | 外形尺寸 | 1430×1050+50×1826 | 1430×1140×1860 |
4 | 內(nèi)腔尺寸 | 690×680×930 | 690×680×930 |
5 | 可載烘烤產(chǎn)品重量 | 280KG | 360KG |
6 | 占地面積(閉門) | 1.62平方米 | 1.62平方米 |
7 | 占地面積(開門) | 2.95平方米 | 2.95平方米 |
8 | 空載重量 | 480KG | 485KG |
9 | 標(biāo)稱用電功率 | 18kw | 18kw |
10 | 空載一個周期用電 | 4.5度 | 4.5度 |
11 | 滿載一個周期用電(24個彈夾,每個彈夾放置83mm寬SOP產(chǎn)品100條室溫--175度--保持1H--降溫到100度) | 5.9度 | 5.9度 |
12 | 產(chǎn)品放置情況 | 后固化1:制作專用貨架,共6層,每層水平放置4個彈夾,共計24個彈夾。 | 后固化1:制作專用層板,共3層,每層水平放置12個彈夾,共計36個彈夾。 |
13 | 溫度曲線記錄方式 | 9點溫度記錄,數(shù)據(jù)存儲在本機 | 9點溫度記錄,數(shù)據(jù)存儲在本機 |
14 | 溫度均勻性 | ±2℃ | ±2℃ |
15 | 溫度均勻性1 | ±5℃ | ±5℃ |
16 | 溫度偏差 | ±1℃ | ±1℃ |
17 | 保溫及密封性能 | 19小時 | 19小時 |
18 | 保溫及密封性能 | 小于室溫+25℃ | 小于室溫+25℃ |
19 | 箱體密封材料所能夠承受的上限溫度 | 250℃ | 250℃ |
20 | 排風(fēng)節(jié)能性能(不外接排風(fēng),空載200度恒溫10分鐘后排風(fēng)時,烘箱排風(fēng)口溫度) | 72℃ | 72℃ |
21 | 平均輔助間隔時間 | MTBA>168小時 | MTBA>168小時 |
22 | 平均故障間隔時間 | MTBF>168小時 | MTBF>168小時 |
23 | 烘箱內(nèi)膽材料 | 304不銹鋼鏡面處理材料 | 304不銹鋼鏡面處理材料 |
24 | 內(nèi)膽焊接工藝 | 不銹鋼無縫氬弧焊接 | 不銹鋼無縫氬弧焊接 |
25 | 烘箱外殼材料 | 1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 | 1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 |
26 | 烘箱外殼處理工藝 | 高溫噴塑處理 | 高溫噴塑處理 |
27 | 烘箱保溫層材料、厚度 | 高密度壓縮成型片狀巖棉 | 高密度壓縮成型片狀巖棉 |
28 | 烘箱清潔程度 | 揮發(fā)物風(fēng)道與循環(huán)風(fēng)道分時隔離,揮發(fā)物大量揮發(fā)時采用強制直排方式,造成箱體污染少;不會重復(fù)污染產(chǎn)品。 | 揮發(fā)物風(fēng)道與循環(huán)風(fēng)道分時隔離,揮發(fā)物大量揮發(fā)時采用強制直排方式,造成箱體污染少;不會重復(fù)污染產(chǎn)品。 |
29 | 風(fēng)道結(jié)構(gòu) | 升溫恒溫循環(huán)風(fēng)道,降溫過風(fēng)風(fēng)道 | 升溫恒溫循環(huán)風(fēng)道,降溫過風(fēng)風(fēng)道 |
30 | 進風(fēng)過濾 | 過濾后進新風(fēng) | 過濾后進新風(fēng) |
31 | 排風(fēng)管徑mm | 100 | 100 |
32 | 排風(fēng)量 | 2915L/min | 2915L/min |
33 | 換風(fēng)率 | 6.63 | 6.63 |
34 | 換風(fēng)保障率 | 自帶強排風(fēng)99%保證 | 自帶強排風(fēng)99%保證 |
35 | 換風(fēng)頻率可調(diào) | 根據(jù)需要可編程控制,隔離系統(tǒng)干擾 | 根據(jù)需要可編程控制,隔離系統(tǒng)干擾 |
36 | 冷卻方式 | 水冷(選配)+全流量過風(fēng)不開門冷卻 | 水冷(選配)+全流量過風(fēng)不開門冷卻 |
37 | 冷卻管配置 | 選配 | 選配 |
38 | 循環(huán)水流量 | / | / |
39 | 進水溫度 | / | / |
40 | 出水溫度 | / | / |
41 | 循環(huán)水壓強 | / | / |
42 | 水接頭管外徑 | φ10 | φ10 |
43 | 氮氣流量 | 無 | 80-100L/min |
44 | 氮氣接頭管徑型號 | 無 | φ10 |
45 | 廢熱回收配置 | 無 | 無 |
46 | 廢熱預(yù)熱后氮氣溫度 | 無 | 無 |
47 | 氮氣應(yīng)急保護功能 | 無 | 氮氣流量監(jiān)控功能和氮氣控制器壞時手動充氮功能 |
48 | 超溫保護1 | 9點溫控傳感器自帶超溫預(yù)警 | 9點溫控傳感器自帶超溫預(yù)警 |
49 | 超溫保護2 | 機械式溫度保護傳感器1 | 機械式溫度保護傳感器1 |
50 | 超溫保護3 | 機械式溫度保護傳感器2 | 機械式溫度保護傳感器2 |
51 | 斷電保護功能 | 如果自動運行過程斷電或運行中斷,后續(xù)固化有兩種模式供選擇:如果中斷在30分鐘內(nèi),系統(tǒng)得電后,將自動恢復(fù)到斷電前的狀態(tài)完成運行;如果超過30分鐘,系統(tǒng)將提醒進入手動模式,由人工編程完成后續(xù)固化。 | 如果自動運行過程斷電或運行中斷,后續(xù)固化有兩種模式供選擇:如果中斷在30分鐘內(nèi),系統(tǒng)得電后,將自動恢復(fù)到斷電前的狀態(tài)完成運行;如果超過30分鐘,系統(tǒng)將提醒進入手動模式,由人工編程完成后續(xù)固化。 |
52 | ESD保護 | Y | Y |
53 | 控制系統(tǒng) | PLC+PC+觸摸顯示器 | PLC+PC+觸摸顯示器 |
54 | 產(chǎn)品遺忘保護功能 | 產(chǎn)品流程卡掃描全部進出記錄對應(yīng)才能啟動下一個流程,否則報警提醒。 | 產(chǎn)品流程卡掃描全部進出記錄對應(yīng)才能啟動下一個流程,否則報警提醒。 |
55 | 工藝參數(shù)預(yù)置 | 二十項工藝參數(shù)預(yù)置 | 二十項工藝參數(shù)預(yù)置 |
56 | 產(chǎn)品及工藝參數(shù)---時間曲線記錄保存 | Y | Y |
57 | 產(chǎn)品及工藝參數(shù)---時間曲線記錄查詢 | Y | Y |
58 | 操作日志保存查詢 | Y | Y |
59 | 報警信息保存查詢 | Y | Y |
60 | 產(chǎn)品信息錄入 | 設(shè)備端掃描錄入 | 設(shè)備端掃描錄入 |
61 | 參數(shù)調(diào)用 | 掃描錄入/自動調(diào)取 | 掃描錄入/自動調(diào)取 |
62 | 設(shè)備群組聯(lián)網(wǎng) | Y | Y |
63 | 與MES系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng) | Y | Y |