數字式系列質量流量控制器可通過定制化的高速比列調節閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量及壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。
特點
標準精度0.8%RD+0.2%F.S 高精度0.4%RD+0.2%F.S
有效控制范圍0.5-99% 內置90至130條氣體曲線可選
響應速度100ms 多種數字信號可選
基本參數
| 產品性能 | 質量流量控制器 |
| 流量范圍 | 0.5sccm-5000slpm |
| 精度(調零后標準條件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
| 高精度選配(調零后標準條件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備 |
| 標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 |
| 重復性 | ± 0.2% F.S |
| 零點漂移&滿量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
| 工作壓力 | 10bar |
| 可控流量 | 102.4% F.S |
| 典型響應時間 | 100 毫秒(可調整) |
| 啟動預熱時間 | < 1 秒 |
| 工作溫度 | −10 ~ +50 ºC |
| 工作濕度范圍 (非冷凝) | 0 ～ 99% |
| 內部工作壓力(靜壓) | 145 psig |
| 極限壓力 | 175 psig |
| 對安裝方式/方向的要求 | 任意 |
| 閥門狀態 | 閥門常閉 |
| 通訊 / 電源 | 質量流量控制器 |
| 單色/彩色 LCD 顯示屏 | 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號 | 標準RS-232 選配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號 | 標準0-5V 1-5V-0-10V 選配4-20mA |
| 電信號接口 | 標準圓形8針 選配圓形6芯 DB9針 DB15針 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 20SLM以為 250mA 50SLM以為750mA 5000SLPM消耗2000mA電流 |
| 流量 | 壓損(spig)排放大氣中 | 接口 |
| 0.5-50SCCM | 1.0 | 1/8NPT母螺紋 |
| 100-500SCCM | 1.0 | |
| 1SLM | 1.5 | |
| 2SLM | 3.0 | |
| 5SLM | 2.0 | |
| 10SLM | 5.5 | |
| 20SLM | 20.0 | |
| 50SLM | 2.0 | 1/4NPT母螺紋 |
| 100SLM | 3.2 | |
| 250SLM | 2.4 | 1/2NPT母螺紋 |
| 500SLM | 6.5 | 3/4NPT母螺紋 |
| 1000SLM | 14.0 | |
| 1500SLM | 17.0 | |
| 2000SLM | 28.6 | |
| 3000SLM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺紋 |
| 5000SLM | 14.1 | 2NPT母螺紋 |
