Hiden IG20 Ar/O2離子槍(Ion Gun),的離子槍,配合SIMS進行材料表面和深度的分析。
·靜態、動態SIMS
·俄歇電子譜
·離子束濺射
·表面科學研究
·光柵/ 深度分析
·具有100μm光斑直徑的、0.5~5 keV能量的強離子束
·高電流密度4.5 mA/cm2
·電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
·掃描線散射和離子束光柵的光學調整功能,用于深度分析
·離子槍的3°偏移量,用于中性粒子的排斥
·在光柵應用中,束消隱裝置可以快速進行束的轉換
·差式泵源減少室內氣體
·便于更換的雙燈絲
·掃描速度可低至64μs
·與SIM 和EQS 探針一起,可以直接進行光柵速率/區域控制
·能量范圍: 500eV ~ 5KeV
·電流: 800nA
·最小光斑尺寸: 50μm
·離子源壽命: >1000小時
·法蘭規格: 斜楔法蘭DN-35-CF
·氣源壓力: 0.1~0.5bar至一個大氣壓
IG20 Oxygen/Gas Gun (840 KB)