TS3000-SE Probe System
S3000-SE是TS3000探針臺系統(tǒng)的升級開發(fā)，該系統(tǒng)配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現(xiàn)超低噪聲，滿足設備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。 優(yōu)勢：
- 適用于多種晶圓量測應用
- 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS
- 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
- 可靠性測試 - 精確的壓力測試
- MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
- 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到的 1/f 超低噪測試結果
- 支援 fA 級超低噪 IV 量測
- 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環(huán)境
- 可編程的顯微鏡滑臺實現(xiàn)自動化之簡便操作
- 溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C
特點與優(yōu)勢
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin或高功率等多種測試組合。
探針懸停控制
MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制，以實現(xiàn)探針到晶圓的精確定位。
快捷的晶圓裝載
雙前門通道和的卡盤設計使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換 兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面，可以很方便地進行裝卸。
集成硬件控制面板
智能硬件控制面板集成到探針系統(tǒng)中，并基于數(shù)十年的經驗和客戶互動而設計，隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。
溫控系統(tǒng)
MPI和ERS共同設計了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列，具有的熱靈活性，可將變溫時間減少60％， 減少轉換時間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現(xiàn)場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統(tǒng)的附加價值。 便捷式的觸摸屏實時顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實現(xiàn)快速的操作和即時的反饋。
ERS的AC3冷卻技術
MPI旗下全系列探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，與市場上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。
安全測試管理（STM）系統(tǒng)
的STM系統(tǒng)可防止在測試過程中打開正門，以保證測試過程的安全，任何情況下都無法打開任何系統(tǒng)門。的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚，系統(tǒng)自動監(jiān)視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足，則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式，迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環(huán)境，使TS3000-SE的測量更加安全，可靠和方便
儀器集成
可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應用中的測量動態(tài)性和方向性。
軟件套件SENTIO®
MPI自動工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓時間。“滾動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現(xiàn)代智能移動設備，使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。在活動應用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。
