超聲波電源通常稱為超聲波發生源，超聲波發生器。它的作用是把電能轉換成與超聲波換能器相匹配的高頻交流電信號。從放大電路形式，可以采用線性放大電路和開關電源電路，大功率超聲波電源從轉換效率方面考慮一般采用開關電源的電路形式。線性電源也有它的應用范圍，它的優點是可以不嚴格要求電路匹配，允許工作頻率連續快速變化。從超聲業界的情況看，超聲波主要分為自激式和它激式電源。
超聲波電源的原理是首先由信號發生器來產生一個特定頻率的信號，這個信號可以是正弦信號，也可以是脈沖信號，這個特定頻率就是換能器的頻率，一般應用在超聲波設備中的超聲波頻率為20KHz、25KHz、28KHz、33KHz、40KHz、60KHz；100KHz或以上尚未大量使用。但隨著以后精密清洗的不斷發展。相信使用面會逐步擴大。
比較完善的超聲波電源還應有反饋環節，主要提供二個方面的反饋信號：一個是提供輸出功率信號，我們知道當發生器的供電電源（電壓）發生變化時。發生器的輸出功率也會發生變化，這時反映在換能器上就是機械振動忽大忽小，導致清洗效果不穩定。因此需要穩定輸出功率，通過功率反饋信號相應調整功率放大器，使得功率放大穩定。
第二個是提供頻率跟蹤信號。當換能器工作在諧振頻率點時其效率高，工作穩定，而換能器的諧振頻率點會由于裝配原因和工作老化后改變，當然這種改變的頻率只是漂移，變化不是很大，頻率跟蹤信號可以控制信號發生器，使信號發生器的頻率在一定范圍內跟蹤換能器的諧振頻率點。當然隨著現代的電子超聲技術，特別是微處理器(uP)及信號處理器(DSP)的發展，發生器的功能越來越強大，但不管如何變化，其核心功能應該是如上所述的內容，只是每部分在實現時超聲波技術不同而已.
