LIBSOPA實現了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析,用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內部缺陷分析等指標。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術手段及質量判據 。
儀器特點:
非接觸、微區、深度分析;兼具原位統計分布分析功能;分析空間分辨率150-400μm
儀器參數:
一.激發光源
激光器:燈泵固體激光器
輸出波長:1064 nm
脈沖頻率:1~10Hz可調
二.雙視場成像:
全景視場:100mm*100mm
微區視場:8mm*8mm
三.移動掃描系統:移動分辨率:1μm
行程:80mm*80mm
四.剝蝕光斑 :
軟件自動調節
尺寸:150μm ~400μm
五. 分光系統:
巴邢—龍格架法,光柵焦距750 mm
高發光全息光柵,刻線為2400條/mm
譜線范圍:170~800nm
分辨率:優于0.01nm
惰性氣體密閉樣品倉
可檢測短波元素(C,P,S,B)