供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 |
耦合方式 | 感應耦合式(線圈耦合) |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內徑 | Φ70 |
氣體流量 | 10—600ml/min(其他量程可選) |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16波紋管1米,kf16卡箍2個,電源線一根,說明書一本。 |
鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業,如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室 ,科探儀器已經成為老師 同學和信任的品牌。 公司以科技創新為主,服務社會為宗旨,積極設計開發新型材料制備設備,奉獻于教育和科學,經過長期的研發和不斷地技術積累,擁有熱工,制造,控制相關技術項為化學,物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師 同學強強聯合,形成了有效的信息,技術交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持!
目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統 等離子清洗機 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 真空探針臺 半導體等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關系,建有開放實驗室,相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念,依靠嚴謹的技術研發能力,科學合理的生產工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產品質量和服務工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。
小型濺射儀,小型蒸鍍儀,真空試管封口機,真空探針臺,等離子清洗機,真空加熱腔
等離子設備清洗機系統 產品信息
KT-S2DQX型等離子清洗設備屬于13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備,主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該等離子設備清洗機系統倉體,容積為2升,結構為國際上的通用結構。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大
等離子設備清洗機系統;