德國 Raith Pioneer Two 電子束光刻機:
1.系統適用于2"及以下的樣片,采用熱場發射電子槍,加速電壓為20V~30kV。可實現高分辨電子束曝光,最小驗收線寬≤8nm。
2.系統中集成了高精度的激光干涉工作臺,運動行程為50 x 50 x 25mm,XY方向定位精度2nm,可以實現精確的拼接套刻,拼接套刻精度≤50nm。
3.系統兼具了高精度成像度量的功能,其成像效果和市面上中的熱場電鏡類似,放大倍數為20x ~1,000,000x。
4.另外,除了標準配置, 客戶還可以增加一些選配件,如選配背散射探測器、能譜儀等,進行材料分析;選配工作臺旋轉傾斜模塊,實現不同角度的材料成像等。如果選擇相應的選配件,請增加相應的價格。