應用案例：

 對納米尺度污染物的化學鑒定

AFM表面形貌圖像 (左), 在Si片基體（暗色區域Ｂ）與PMMA薄膜（Ａ）之間可以觀察到一個小的污染物。機械相位圖像中（中），對比度變化證明該污染物的是有別于基體和薄膜的其他物質。將點Ａ和Ｂ的nano-FTIR 吸收光譜（右），與標準紅外光譜數據庫對比， 獲得各部分物質的化學成分信息. 每條譜線的采集時間為7min

    nano-FTIR 可以應用到對納米尺度樣品污染物的化學鑒定上。下圖顯示的Si表面覆蓋PMMA薄膜的橫截面AFM成像圖，其中AFM相位圖顯示在Si片和PMMA薄膜的界面存在一個100nm尺寸的污染物，但是其化學成分無法從該圖像中判斷。而使用nano-FTIR在污染物中心獲得的紅外光譜清晰的揭示出了污染物的化學成分。通過對nano-FTIR獲得的吸收譜線與標準FTIR數據庫中譜線進行比對，可以確定污染物為PDMS顆粒。 

技術參數配置：