點尺寸低至20微米
二極管泵浦激光技術可大限度減少維護,長期穩定性和高可靠性
光束校準和視覺系統,用于自動對準和精確的激光定位
高速處理器可管理與新一代小尺寸貼片電阻器一起使用的薄基板
寬范圍測量系統
5毫歐至1兆歐
可追溯的測量認證
ChipTrim軟件
圖形用戶環境專用于微調
化語言支持
系統特點
可選設備:
低歐姆選項(5mΩ– 1Ω):
使用標準的4T探針卡
范圍0.005Ω– 0.1Ω±0.50%
精度0.1Ω-1Ω±0.25%
附加矩陣卡
模擬電纜的選擇
PCI IO卡
GPIB接口
GPIB儀器包
可配置的燈塔
照明選項
服務工具和配件
LT3100在不犧牲吞吐量的情況下以更高的精度提供了更高的光束控制精度。由于LT3100利用相同的電阻器修整平臺來滿足廣泛的生產應用,因此客戶的總擁有成本更低。
激光器:
類型:二極管泵浦調Q YAG
波長:532nm
輸出功率/脈沖寬度:
3W/30ns
3W/70ns(可選)
6W/70ns(可選)
光束定位器類型:高速閉環振鏡
光斑尺寸1:8μm-15μm
場尺寸:100 x 100 mm
50 x 50 mm(8μm點)
25 x 25 mm(可選8μm)
聚焦深度:150μm50μm(8μm點)
光束重復性:≤6.0μm
分辨率:1.52μm-0.80μm(8μm點)
材料處理:
可編程Z級
Z軸行程:20mm
Z解析度:4um
Z重復性:4um
Theta行程:±5度
θ分辨率:0.003度
提升/探測力:25磅(11.3千克)