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等離子體去膠機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海衡鵬企業發展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/6/11 9:33:38
  • 訪問次數72
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上海衡鵬企業發展有限公司成立于1999年11月,總部設于上海, 在深圳,香港,東京,河內設立有分公司。公司一直致力于引進技術、制造設備、精密檢測儀器、關鍵生產材料,為中國電子制造企業服務。經過二十多年的發展,公司通過收購合并已發展為具有自主工業軟件設計開發,高精密裝置的設計及制造裝配能力的跨國企業集團。服務于新能源汽車制造、半導體生產、5G通訊制造,航空航天,智慧醫療,自動化工業控制等細分行業。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產技術與設備,幫助您提高生產效率,降低能耗,保護環境。與您攜手營造綠色地球,共創美好未來。
PLASMA等離子體去膠機概要:該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓
等離子體去膠機 產品信息

PLASMA等離子體去膠機概要:


該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。設計緊湊占地面積小,設備穩定可靠、易于維護、產能高。




PLASMA等離子體去膠機特點: 


兼容晶圓尺寸為:4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ”

支持2 個開放式晶圓匣或SMIF

高精度3 軸機械手

2種可選等離子體源:

RPS (400KHz Toroidal遠程等離子體源 )

電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

高密度等離子體,去膠速率快

優異的均勻性和重復性

占地面積小

耗材成本(COC)和使用成本(COO)低

人性化的人機交互操作系統

工業計算機Windows




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