名稱:主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26
型號:SC-26
品牌:Spicer Consulting
描述:SC26是第四代磁場抵消系統(tǒng),被優(yōu)化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運輸工具的高頻磁場,通常在9kHz.
產品介紹:
SC26是第四代磁場抵消系統(tǒng),被優(yōu)化用于抵消300mm 晶圓廠里晶圓運輸工具的高頻磁場,通常在9kHz。
SC26是SC20Fast系統(tǒng)的升級版,該系統(tǒng)在晶圓廠的安 裝數(shù)量*已超過200臺。
SC26的工作原理與其他消磁系統(tǒng)類似。消磁方法是產 生一個寬帶模擬負反饋。嵌入式微型計算機控制系統(tǒng)并將測量磁場進行數(shù)字化處理,但不屬于反饋回路。
SC26在電子束設備附件中的參考安裝如圖4所示。控制 單元未顯示。消磁電纜顯示為紅色、綠色和藍色。此參考安裝用于SC26系統(tǒng)性能。200kHz 'Sensor SC26/AC' (圖 6)測量磁場,控制單元對測量數(shù)據(jù)進行濾波處理,并以正確的振幅和相位通過電纜驅動電流,使測量磁場為零。
SC26系統(tǒng)的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制單元有兩個傳感器的輸入端。它將與一個或兩個傳感器工作。當它在兩個輸入端檢測到傳感器時,SC26啟用混頻器功能。
為了消除直流磁場,有必要通過傳感器組合單元為每個使用的輸入端添加一個“傳感器SC24/DC+AC”。然后,SC26將啟用直流抵消功能,并在觸摸屏上顯示直 流磁場。DC消除功能很復雜,但有時是必要的。
SC26無法消除電子束設備附件內的所有磁場。它在磁 場傳感器周圍創(chuàng)建一個區(qū)域,大幅度削減磁場。該區(qū)域的大小取決于周圍磁場的均勻性、磁場電纜的設計以及電子束設備的金屬結構對磁場的扭曲程度。主動消磁-電磁屏蔽-電鏡消磁器-SC-26
產品特點:
· 改善外部磁場干擾以達到電子束儀器對磁場規(guī)格的要求
· 實時寬帶消除從DC到>9kHz的磁場
· 在10μs之內適應磁場幅度和頻率變化
· 觸摸屏智能用戶界面,具有自動設定和直流復位功能
· 面板同時顯示交流及直流磁場數(shù)值并可選擇不同單位( Tesla或 Gauss)
· 混合式雙傳感器,可在EM模塊里產生一個虛擬感應器
· 內置測試場發(fā)生器
· 具備以太網(wǎng)和USB端口,以供遠程操作及監(jiān)視