CPPSSZ系列真空加熱探針臺
名稱:真空加熱探針臺
型號:CPPSSZ32
外形尺寸:450×600×1200mm(加整體焊接支架)
產(chǎn)品應(yīng)用:晶圓/半導(dǎo)體材料氣敏測試,IV,CV,PIV測試,高溫?zé)o氧化測試等
適用于樣品尺寸:低于4英寸
真空獲得方式:機(jī)械泵抽真空
樣品盤加熱溫度:300℃,溫控精度±1℃
測試漏電流精度:100fA
探針調(diào)節(jié)精度:10微米(也可選擇5微米,3微米,1微米精度)
CPPSSZ系列真空加熱探針臺配置單 | |
真 空 腔 | 尺寸320×230×210mm,材質(zhì)優(yōu)質(zhì)鋁合金,內(nèi)表面電解拋光,外表面陽極氧化本色 |
上蓋40直徑石英觀察窗,可開啟,下表面可以和光學(xué)平臺直接連接 | |
配有多個接口,2個KF16,4個KF25,一個備用充氣口,一個旋轉(zhuǎn)控制閥門,一個放氣閥門口 | |
溫控樣品盤 | 尺寸4英寸,鋁合金材質(zhì),平面度5微米 |
溫控儀采用日本島電溫控器,顯示精度0.1℃,溫控精度±1℃,可達(dá)300℃ | |
探針座 | 10微米三維調(diào)節(jié),可調(diào)磁力底座,萬向調(diào)節(jié)夾具,配備美國進(jìn)口愛默生線和進(jìn)口三同軸接口 |
真空獲得以及測量系統(tǒng) | 采用成都睿寶真空計,安裝1個全金屬電阻規(guī) |
真空泵選擇合資機(jī)械泵,抽速6L/秒 | |
顯微鏡系統(tǒng) | 放大倍數(shù)7-180倍無級調(diào)節(jié),500萬像素,搭配8寸顯示器,匹配萬向調(diào)節(jié)架和升降臺,可以無級調(diào)節(jié) |