型號:OTF-1500X-6Z
產品概述:OTF-1500X-6Z是一款6溫區開啟式管式爐,剛玉管和不銹鋼密封法蘭,溫度可達1500℃。六個獨立的溫控系統,采用S型熱電偶,控溫精度為 +/ - 1°C。此款設備可非常好地用于高溫CVD和熱處理應用。
爐體結構 | ? 采用雙層殼體結構,并且安裝有風冷系統 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高溫度均勻性和延長爐膛使用壽命 ? 6個溫區由6個獨立的溫控儀表控制,溫度1500℃,控溫精度可達+/ - 1°C ? 總加熱區長度為1440mm ? 此設備可得到較長恒溫區,也可獲得不同的溫度梯度 |
輸入功率 | ? 22KW |
工作電壓 | ? AC380V, 三相 50/60Hz(需要100A的空氣開關) |
工作溫度 | ? 1500℃(小于30分鐘) |
連續工作溫度 | ? 1400℃ |
建議升溫速率 | ? 5℃/min |
爐管 | ? 材料:高純氧化鋁管(剛玉) ? 尺寸: 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L ? 可選購直徑達到 Φ100mm石英管(使用溫度為1200℃) Φ100mm高溫合金管(使用溫度為1100℃) |
加熱區長度 | ? 總加熱區長度:1440mm(包含溫區之空白區) ? 每個加熱區長度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6:284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm ? 恒溫區長度:800mm(+/- 2oC,每個溫區設置同樣的溫度) 注意:溫度梯度可通過溫區之間插入隔熱環來進行調節。 |
溫控系統 |
? 6個溫區,由獨立的PID程序溫控系統控制 ? 可設置30段溫度程序,精確控制加熱速率,降溫速率和保溫時間 ? 帶有超溫保護和報警 ? 控溫精度:+/- 1 oC ? 6根S型熱電偶(每個溫區一根) ? 可選: (1)通過安裝控制模塊,可由PC機操作高溫爐。請額外訂購一個MTS-02控制模塊。 (2)如果您訂購PC控制模塊和高溫爐,我們將在裝運前對其進行安裝和測試。我們建議您向我們訂購一臺筆記本電腦,以避免軟件安裝問題
|
歐陸控溫系統(可選) |
? 加熱通道 ? 程序可設置8或24段 ? 控溫精度: ±0.1oC ? 菜單:用PC工具菜單功能可被建立,用于選取不同的熱處理工藝。對于用同一款設備對不同的材料采用不同工藝處理非常方便有用。 |
電腦,軟件&無線控制(可選) | ? Labview 溫控系統,使用戶可編輯溫度曲線,管理熱處理配方,記錄和繪制數據
|
真空度 | ? 10^-2 torr (采用機械泵) ? 10^-5 torr (采用分子泵系統)
|
隔熱管堵放置 | ? 設備中配有2個隔熱管堵,可查看圖片了解隔熱管堵放置位置 ? 可選購法蘭支撐架,避免爐管轉動
|
加熱元件 | ? 48根1500℃級別SiC棒(尺寸Φ14mm . x 150mm 加熱段?x ?413mm L) ? 加熱元件是消耗品,可在本公司選購6根S型熱偶,安裝在設備上
|
外形尺寸 | ? 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH |
重量 | ? 300kg |
應用注意事項 | ? 爐管設計用于真空和低壓< 0.02 Mpa ? 不可將石墨坩堝放入到陶瓷爐管中 ? 注意:用戶所用氣瓶上必須安裝雙級減壓閥
? 進氣流量小于200SCCM(或200ml/min) |
質保 | ? 一年質保期,終生維護(消耗品不包含,如爐管,密封圈,加熱元件等) |
質量認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件(輸入電壓≦24V)都通過了UL/CSA認證
|