Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D
圖片
簡介
SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統,被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩,多可配備四路噴淋系統,包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統包括:噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業級伺服馬達和高級PLC控制,7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結構緊湊、簡單易用,可進行程控操作,具有優異的性價比。
規格參數
功能圖解
應用系統
PDMS芯片制作
MEMS器件加工