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等離子刻蝕機/Plasma Etching

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京嘉潤通力科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/10/5 8:42:03
  • 訪問次數(shù)62
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北京嘉潤通力科技有限公司是成立于北京中關(guān)村*產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)的*企業(yè)。公司以長年服務(wù)于電力、石油、化工、空調(diào)供暖、航天、電子等行業(yè)的企業(yè)、事業(yè)單位,致力于引進和應(yīng)用*的科技生產(chǎn)手段,以提高整體生產(chǎn)和設(shè)備維護水平。通過長時間的市場推廣和客戶服務(wù)工作,公司積累了豐富的產(chǎn)品經(jīng)驗,專門用于解決生產(chǎn)中的各種疑難問題。
軟軸式管路清洗機;氣動馬達式管路清洗機;氣(水)壓式管路清洗射槍;氣動管路清洗鉆;輸氣管專用清洗機;核電站、核反應(yīng)專用清洗機;催化劑管道專用清洗機
適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗,鍍膜
等離子刻蝕機/Plasma Etching 產(chǎn)品信息
  • 適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗,鍍膜。
  • 處理時的因熱負荷及機械負荷都很低,故也可處理敏感性材料。
  • 典型應(yīng)用:等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應(yīng)用、等離子刻蝕反應(yīng)、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。
設(shè)備參數(shù)

  • 處理面:直徑10.5”不銹鋼裝載裝置,水冷陶瓷絕緣
  • 真空腔:內(nèi)徑15”陽極電鍍鋁,表面氧化處理
  • 處理均勻性±5%
  • 水冷機:W16”× D36”× H24”
  • 氣體箱:W30”× D24”× H12”
外部連接

  • 電源:220V AC 30mA 50/60Hz
  • 壓縮空氣或氮氣:80-100PSI 1/4”快速接頭QC
  • 處理氣體:15PSI 100sccm 1/4”外螺紋VCR接頭
  • 排氣:50CFM KF40快卸緊固法蘭
  • 水冷:30-60PSI 3/8”快速接頭QC
基本配置

  • 電源配給,RIE
  • 安全互鎖裝置
  • 通訊接口模塊
  • 設(shè)備水電氣連接系統(tǒng)
  • 控制器
RIE配置

  • 等離子射頻電源 RF600W(可選裝RF1000W)
  • 氣體流量控制:MFC質(zhì)量流量計×4(1路適用于氯氣)
  • 裝載配置:真空裝載腔真空系統(tǒng)、真空裝載腔加熱組件
  • 控制系統(tǒng):電腦控制、標準19”液晶顯示屏
  • 真空泵:分子渦輪泵、機械泵(干泵)8cfm-C
  • 真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲腔

15700106413
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