型號(hào):GSL-1700X-III-F3LV
產(chǎn)品概述:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
爐體結(jié)構(gòu) | -
采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) -
爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,減少能量損失 -
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長爐膛的使用壽命 -
三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 |
功率 | 10KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
電壓 | AC 380V 50 Hz |
加熱區(qū) | -
總加熱區(qū)長度:25" (630 mm) -
加熱溫區(qū)1長度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃ 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系 -
升溫速率:10°C/min -
加熱溫區(qū)2長度:10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,溫度可達(dá)1700℃ -
升溫速率:5°C/min -
加熱溫區(qū)3長度:7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃ -
升溫速率:10°C/min |
爐管和法蘭尺寸 | -
99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube -
(標(biāo)配)( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L -
一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表 -
儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵 |
溫控系統(tǒng) | |
控溫精確度 | +/-1°C |
低真空系統(tǒng) | |
防腐型真空計(jì) | 其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換 |
三路浮子混氣系統(tǒng) | |
尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified |