用于故障分析和大型樣品研究的納米計量工具
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行業中大受贊揚。
大全面的分析功能
Park NX20具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。。
即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業界便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
為FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案
樣品側壁三維結構測量
NX20的創新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創新性研究和敏銳洞察力所的。
對樣品和基片進行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一，能夠帶來精確的失效分析和質量保證。
高分辨率電子掃描模式
QuickStep SCM
的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡
多種的技術幫助顧客減少測試時間
CrN樣品所做的針尖磨損實驗
- 通過對比重復掃描情況下探針的形狀變化，您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優勢所在。
AFM測量
- 借助真正非接觸模式，探針在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強，會讓普通的探針很快變鈍。
低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數據的同時也為您節省了寶貴的時間。
- 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。
- 在大范圍掃描過程中系統Z向噪音小于0.02 nm。
- 沒有前沿或后沿過沖現象
- 終身無需校準，減少設備維護成本
Park NX系列原子力顯微鏡
傳統的原子力顯微鏡
Park NX20特點
低噪聲XYZ位置傳感器
自動多點樣品掃描
掃描頭滑動嵌入式設計
用于高級掃描模式易插拔擴展槽
高速24位數字電子控制器
高速Z軸掃描器，掃描范圍達15 µm
集成編碼器的XY自動樣品載臺
操作方便的樣品臺
同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統。
自動Z軸移動和聚焦系統
