EMS 7620是一款緊湊、實惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時所需。該款設備具備輝光放電功能，這對于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾非常有幫助。
特征：
- 價格實惠
- 操作簡單
- 磁控管濺射頭
- 結構堅實
- 碳絲蒸發可選
- 樣本臺高度可調
- 靶材更換簡便，金/鈀為標配靶材
- 符合的安全規程要求，具備主動電氣連鎖功能，確保操作安全
- 三年質保
規格參數：
| 整機尺寸 | 340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室 |
| 現場條件： | |
| 電氣要求 | 240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A |
| 濺射氣體 | 氬氣（零級），配有二級壓力調節器，工作氣體壓力在5-10psi |
| 真空泵 | 真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級旋轉真空泵 |
| 碳蒸發附件（可選） | EMS 7620-CF 碳蒸發附件與EMS7620可以配套使用 |
| 貨號 | 產品 | 規格 |
| EMS 7620 | EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater 包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions | each |
| 91017-Au | 金靶Gold （Au） target | each |
| 91017-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target | each |
| 91017-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target | each |
| 91017-Ag | 銀靶Silver （Ag） target | each |
| 91017-Pd | 鈀靶Palladium （Pd） target | each |
| 91017-.2-Au | 金靶Gold target （Au） 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-AP | 金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick | each |
| 91017-.2-Pt | 鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick | each |
| 91003 | 愛德華旋轉真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz） | each |
| 96000 | Replacement oil mist filter | each |
| 91040 | 碳蒸發附件（鍍碳時選用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620 | each |
