工業有機廢氣治理文獻

本文通過對半導體工業的有機廢氣凈化工藝及設備的分析，總結了各種凈化工藝特點和應用的范圍。在擴建工程中選擇了合理的凈化工藝及設備。經過一年的生產驗證，有機廢氣達到，與現有廢氣處理設備相比，節省了、降了運行，效果明顯。詞：有機廢氣；碳吸附；

有機廢氣凈化工藝及設備的比較目前應用較廣泛的有機廢氣凈化工藝有活性炭吸附法、熱破壞法、生物膜法等。

可回收的有機物種類烴類苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石腦油、烴類苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石腦油、已烷等。鹵烴三氯乙烯、全氯乙烯、三氯乙烷、二氯甲烷、三氯苯、三氯甲烷、四氯化碳等。酮類丙酮、丁酮MEK、甲基異丁酮、已酮等。酯類  乙酸丁酯 等 醚類 二氧雜己酯類乙酸丁酯、油酸等。醚類二氧雜己烷、（四氫呋喃）、糠醛等。醇類甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇等。醇類甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇等。聚合用單體氯乙烯、丙烯酸、丙烯酸酯、苯乙烯、醋酸乙烯等。

（二）、吸附﹑脫附行程短，速度快；脫附﹑再生耗能。ACF對有機氣體吸附量比顆粒狀活性炭（GAC）大幾倍幾十倍，對無機氣體也有好的吸附能力，并能保持較的吸附脫附速度和較長的使用壽命。如用 水蒸氣加熱6-10分鐘，即可脫附，耐熱性能好，在惰性氣體中耐溫1000℃以上，在空氣中著火點達500℃以上。 （三）、形狀可變，使用方便。由于活性碳纖維可以做成氈式，所以換起來非常方便，不會對體造成危害。 （四）、可根據需要生產出具有性能的ACF；強度好，不會造成二次污染。