日立高新HITACHI(精工)FT9355型 X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立高新HITACHI(精工)(SEA1000S、SEA1000A、SEA1000AⅡ、SEA1200VX、SEA6000VX,均能升級至測定鹵素,膜厚儀SFT-110、SFT9355、SFT9500),SFT9355系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實現(xiàn)了高精度的測定。SFT9355極微小準直管和可變焦距光學系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.SFT9355搭載了75W高性能X射線管。
2.搭載標準的Φ50μm微小準直管(zui小Φ15μm)。
3.容易對微小領(lǐng)域進行觀察。SFT9355搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統(tǒng)。
4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。
5.SFT9355搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6.搭載了焦點切換功能,能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M行測定。
7.SFT9355利用伺服馬達精確的驅(qū)動平臺。
8.SFT9355運用激光聚焦功能簡單實現(xiàn)位置的調(diào)整。