電子行業用超純水系統價格的標準:
水質標準:電阻率≥15MΩ.cm,達到中國電子Ⅱ級用水標準
電阻率≥18MΩ.cm,達到中國電子Ⅰ級用水標準
工藝:一級反滲透+混床
標準配制:原水→原水箱→原水泵→絮凝劑裝置→機械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透裝置→中間水箱→中間水泵→混床→純水箱→輸送泵→紫外/臭氧殺菌→終端過濾→用水點(另配RO膜清洗裝置)
電子級超純水價格中國標準(GB/T11446.1-1997)
項目 級別 | 比電阻 MΩ.cm | 硅 ≤ μg/L | >1μm微粒數<個/ml | 細菌個數<個/ml | 銅≤ μg/L | 鋅≤ μg/L | 鎳≤μg/L | 鈉≤ μg/L | 鉀≤ μg/L | 氧≤ μg/L | 硝酸根≤ μg/L | 磷酸根≤ μg/L | 硫酸根≤ μg/L | 總有機碳≤ μg/L |
EW-Ⅰ | 18(95%的時間不低于17) | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-Ⅱ | 15(95%的時間不低于13) | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 |