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FFU是FAN FILTER UNIT的減寫,中文稱作風機過濾器單位,也就是將風機以及過濾器組合在一起構成自身能供給動力的末端凈化設備。
早在上個世紀六十年代,美國新墨西哥州Sandia國度試驗室的科學家們哄騙HEPA過濾的要領研制樂成了層流技術,其后商用FFU陸續在美國一些手術室及工業車間得到廣泛的應用。但直到1984年,在亞洲才浮現大范圍應用FFU的事例(大約有5000臺)。是什么緣故原由導致FFU在恁地長的時間沒有得到廣泛的發展呢?有3個問題占主導官位地方:噪聲較大問題;壓力均衡問題,在很大的靜壓箱里,各不同角落的風機是不是能得到均衡的壓力,這在其時也是不能夠得到保證的;維護問題,FFU自己造價就比力高,如果它的機電壽命不能保證的話,更換又會帶來附加投資。這些個都是造成其時的企業不選擇使用FFU的首要緣故原由。 可是這一切,在1984年都發生了改變。首先是噪聲問題得到了控制,大范圍的FFU潔凈車間均可以把噪聲控制在65dBA以下,這符合 工業車間的標準。其次隨著自動控制的發展,監測以及調節各個角落的靜壓也變得容易起來。zui后機電的壽命隨著技術的提高也得到了質的奔騰。現在,隨著半導體電子技術的發展,愈來愈密集的集成電路也要求著愈來愈高的潔凈等級。這給大規劃應用FFU帶來轉化的關鍵,而FFU體系自己也有著其*的上風。
首要包括以下幾點:
1.矯捷性。因為FFU是自動員力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈車間里,可根據需要,分區控制。并且,隨著半導體出產工藝的變化,車間布局必然要作響應調整,FFU的矯捷性要得這樣的調整變得輕松,并且不會帶來二次投資。
2.可再哄騙性。從定見上講,一時不消的FFU設備,可以拆下來,彌縫好,妥帖保管,留待下次使用。
3.負壓通風。這是FFU的**的地方。由于它自己能夠供給靜壓,要得送風止壓箱相對于潔靜車間負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會遭到壓力的效用走漏到潔凈區里,要得彌縫變得很簡單并且安全。
四、縮短配置設備擺設周期。使用FFU免卻了風管的建造以及安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的配置設備擺設周期,任何一個投資者都但愿投資能盡快帶來收入,選用FFU成了一種有可能。
五、減少運行成本。雖然在選用FFU時,開始的一段時間投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的體現出節能、免維護等*的地方。
6.節約空間。比擬力RCU+HEPA體系,FFU+DCC+MAU體系占用送風止壓箱內較少層高,且基本不占用潔凈室內空間。而RCU豈論是懸掛在天板上方照舊配置在潔凈室,均占用不少空間。
目前,*所有廠家出產的FFU,從外不雅上可這樣區分清楚:
一、從外形上分兩種,一種是長方體,一種上部為坡形,即FFU的上部做成坡形,起到了一種導流的效用,有幫助于氣流的流動以及勻稱分布。前者則一般依靠另外的途徑來均衡氣流。
二、從布局上分兩種,一種為整體(如圖1所示),一種為分體(如圖2所示)。
分體外形的FFU就象次上風:使過濾器的更換變得利便,減小了安裝過程當中的勞動強度。
整體外形的FFU就象次上風:增加了FFU的彌縫性,有用防止了走漏;有幫助于降低噪音;有幫助于減小振蕩。
以1200*1200mm的FFU為例,在中國臺灣人工較貴而機械發達區域,常在地面將FFU組裝完成以液壓起落機配合安裝。而在海內,咱們常以四人一組先安裝過濾器再安裝殼體,因為人工費便宜。
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