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鄭州科佳電爐有限公司


PECVD系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號KJ-T1200-PE

品       牌

廠商性質生產商

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更新時間:2022-09-02 09:34:20瀏覽次數:174次

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產品簡介

產品介紹:該產品是由射頻電源、氣體質子流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成,適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時可實現TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態氣態源沉積其它材料,尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積

詳細介紹

產品介紹:
    該產品是由射頻電源、氣體質子流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成,適用于室溫至1200℃條件下進行SiO2、SiNx薄膜的沉積,同時可實現TEOS源沉積,SiC膜層沉積以及液態氣態源沉積其它材料,尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。

產品參數:

產品名稱PECVD系統
產品型號KJ-T1200-PE
外殼不銹鋼
內襯兩層氧化鋁纖維
加熱元件電阻絲
電源供應AC 208-240V,單相,50/60 Hz
溫度1200°C (2 hour)
工作溫度1100 °C
溫度均勻±1°C
加熱和冷卻速率≤15 °C/S
爐管尺寸Φ200×1400mm
管材優質石英管
加熱區大小Φ250×300mm
恒定溫度, 區域長度180mm
密封法蘭
功率8KW
溫度控制30 個可編程段,用于精確控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。
內置 PID 自動調諧功能,具有過熱和熱電偶斷路保護。
過溫保護和警報允許在沒有服務人員的情況下進行操作。
+/- 1 ºC 溫度精度。
準確±1°C
總重量100Kg

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

關鍵詞:熱電偶

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