激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光的光束近場(chǎng)剖面圖呈非對(duì)稱(chēng)型的高階模式圖。一般準(zhǔn)分子激光輸出光束都是來(lái)自激光雕刻切割機(jī)，輪廓為長(zhǎng)寬比略大于2:1的矩形，在長(zhǎng)軸方向（水平）上是高帽型(hat top)分布，在短軸方向（垂直）上是近高斯( quasi—Gaussian)分布。在這兩個(gè)方向上。

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激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光的光束近場(chǎng)剖面圖呈非對(duì)稱(chēng)型的高階模式圖。一般準(zhǔn)分子激光輸出光束都是來(lái)自激光雕刻切割機(jī)，輪廓為長(zhǎng)寬比略大于2:1的矩形，在長(zhǎng)軸方向（水平）上是高帽型（hat top）分布，在短軸方向（垂直）上是近高斯（ quasi—Gaussian）分布。在這兩個(gè)方向上，準(zhǔn)分子激光的發(fā)散角也不一樣。在水平方向上的發(fā)散角較大，一般為十幾毫弧度，而垂直方向上的發(fā)散角為3毫弧度左右，兩個(gè)方向的發(fā)散度比為4:1左右。準(zhǔn)分子激光激光光束在兩個(gè)方向發(fā)散角的差異，使得對(duì)于它的整形與變換存在較大的困難。

激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光的工業(yè)應(yīng)用很大程度依賴(lài)*和短期的穩(wěn)定度，以及對(duì)輻射特征如脈沖能量、光束直徑、發(fā)散角、點(diǎn)穩(wěn)定度準(zhǔn)分子激光光束橫截面分布立體圖（取向穩(wěn)定度）等的精確控制。因此，除對(duì)光束參量評(píng)價(jià)的標(biāo)準(zhǔn)方法外，對(duì)激光雕刻切割機(jī)的近場(chǎng)和遠(yuǎn)場(chǎng)光束特征的精確的測(cè)量診斷工具是有要求的。尤其重要的是對(duì)空間強(qiáng)度剖面的記錄。因此，除對(duì)一般光束形狀的快速評(píng)價(jià)外，也允許對(duì)zui重要光束特征參量和傳輸參量的評(píng)價(jià)。
激光雕刻切割機(jī)中激光微加工的激光光源通常采用超短、*、超快、高光束質(zhì)量的激光。具有這些特征的激光與材料作用時(shí)，能得到明顯的微區(qū)約束性能，對(duì)非激光雕刻切割機(jī)加工區(qū)影響小，材料的加工量可以做得非常精細(xì)，甚至可以達(dá)到單原子態(tài)分離（燒蝕時(shí)），攝大地提高加工精度。

激光加工的分辨率由公式?jīng)Q定：橫向分辨率
因此，采用波長(zhǎng)更短的激光雕刻切割機(jī)，可以獲得更小的加工分辨率。比如采用準(zhǔn)分子激光進(jìn)行基于冷加工機(jī)理的作用，對(duì)周?chē)醇庸げ牧蠋缀鯖](méi)有熱影響，因而可以得到接近理想的加工邊界，整齊、陡度高、無(wú)飛濺殘留物。加工部位材料可以顯示原質(zhì)材料的優(yōu)良性能，而且在加工中很容易屏蔽常見(jiàn)微加工工藝中的雜質(zhì)吸附效應(yīng)：由于屬于無(wú)接觸光加工，對(duì)材料基體及加工區(qū)的性能（熱物理性能、理化性能、機(jī)械性能、電氣性能）有害影響較小，可得到滿(mǎn)意的加工質(zhì)量。刻蝕加工側(cè)壁面具有高的垂直度，無(wú)側(cè)向鉆蝕作用，呈現(xiàn)較顯著的各向異性刻蝕效果，因此可以得到比常規(guī)的化學(xué)腐蝕、干法刻蝕等微加工手段更大的深寬比。另外，沒(méi)有像在硅刻蝕工藝中的<110>，<100>和<111>晶面刻蝕取向選擇性的限制．沿材料的任何方向上都可進(jìn)行準(zhǔn)分子激光的加工。

    近場(chǎng)剖面特征：目前，工業(yè)激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光運(yùn)轉(zhuǎn)在脈沖重復(fù)率達(dá)幾百Hz的水平．在光子微光刻中甚至達(dá)到lkHz或2kHzo如前述，準(zhǔn)分子激光光束的近場(chǎng)割面非圓對(duì)稱(chēng)，其近場(chǎng)剖面測(cè)量受脈沖能量間隔的影響，剖面形狀和脈沖能量在大約30個(gè)脈沖后穩(wěn)定。
    點(diǎn)穩(wěn)定度：通過(guò)測(cè)試距離激光器輸出窗口約70cm處的一定數(shù)量激光脈沖輻照點(diǎn)離散度，得到其方向離散值在X方向約90um，在y方向約70um。
    脈沖能量穩(wěn)定度：準(zhǔn)分子激光能量分布直方圖呈高斯線型。
    束寬：準(zhǔn)分子激光光束口徑較大，一般都在幾毫米到幾十毫米之間。
    光束發(fā)散角：準(zhǔn)分子激光光束比其他激光光源發(fā)散角大，因此進(jìn)行光束變換是比較困難的。

關(guān)鍵詞：切割機(jī)

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