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廣州坤安電子有限公司
日本理研進口HBr\HCL\HF氣體檢測器GD-70D
顯示內容 | 氣體濃度、流量大小、通訊狀態、熱分解器狀態、檢測氣體名稱、故障代碼、故障內容 |
自 檢 | 系統故障、傳感器故障、流量故障、通訊故障 |
數據下載 | 事件歷史、報警歷史、校正歷史、報警趨勢曲線(一段報警前后180秒) |
工作環境 | 電源DC24V±10%;0~40℃,30~70%RH無凝結 |
尺寸重量 | 70(W)×120(H)×150(D)mm,0.9kg |
優勢特點 | 對應所有檢測方式的公共平臺(主機單元、傳感器單元、泵單元);通用主機單元(兼容所有傳感器類型);多功能傳感器單元(新型智能傳感器);主機單元內部無氣管/泵單元無線圈;在前面開蓋拆裝/無需工具/易于更換傳感器單元和泵單元;不同通訊方式可選(4-20mA,NT,PoE);現有單元升級簡單;zui小的維護成本;環保,符合標準。 |
典型應用 | 半導體、液晶、太陽能電池等微電子制造工廠,特種氣體生產、運輸、儲存、使用等場合 |
GD-70D傳感器類型有ESU(定電位電解式)、SGU(半導體式)、SSU(熱分解粒子式)、OSU(原電池式)、NCU(新陶瓷式),檢測氣體及量程如下:
OSU:O2,0~25%vol
NCU:CH4、H2、i-C4H10,0~*LEL
SSU:TEOS、TMS、TRIMOS,0~15ppm
SGU:H2,0~500/1000/2000ppm;CH4、C3H8,0~2000/5000ppm;CH3OH,0~1000/2000ppm;C2H2Cl2,0~600ppm;CH2Cl2、CH3CHOHCH3、R-32、R-41、COS,0~2000ppm
ESU:NH3,0~75ppm;AsH3,0~0.2ppm;Br2,0~1ppm;CO,0~75/150/300ppm;Cl2,0~1.5/3ppm;ClF3,0~0.6ppm;B2H6,0~0.3ppm;Si2H6,0~15ppm;(CH3)2NH,0~15ppm;(CH3CH2)2NH,0~15ppm;F2,0~3ppm;GeH4,0~0.8ppm;HBr,0~6/9ppm;HCl,0~6/15ppm;HF,0~3/9ppm;H2Se,0~0.2ppm;CH3NH2,0~15ppm;NO,0~100ppm;NO2,0~15ppm;NF3,0~30ppm;O3,0~0.6ppm;PH3,0~1ppm;SiH4,0~15ppm;SO2,0~6ppm;(CH3)3N,0~15ppm;SbCl5、AsCl5、AsCl3、BCl3、SiH2Cl2、GeCl4、MoCl5、POCl3、PCl5、PCl3、SiCl4、SnCl4、SiHCl3、WCl6,0~6/15ppm;AsF5、AsF3、BF3、MoF6、PF5、SiF4、SF4、WF6,0~3/9ppm;BBr3,0~6/9ppm
需要檢測其他氣體及量程請咨詢我們。
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