MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業界*的 ISO 21501 數據準確性和再現性，是業內*潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。便攜式空氣顆粒計數器|選擇 MET ONE 3411 的優勢所在可讓您的潔凈室保持潔凈0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染熱插拔電池-*確保儀器長時間

詳細介紹

MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業界*的 ISO 21501 數據準確性和再現性，是業內*潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。

便攜式空氣顆粒計數器|選擇 MET ONE 3411 的優勢所在

可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
熱插拔電池-*確保儀器長時間連續運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規性更容易得到保證
可在監控您的半導體生產環境時節省時間并消除錯誤
順序采樣系統
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統部署低成本的現場監控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
靈活的通訊方式——設置簡單，數據傳輸方便
供選擇的無線，以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統，或者客戶已有監控軟件，以便減少文書工作
直觀的用戶界面
簡便的區域，位置和運行參數的配置和復制，節約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數設置錯誤，并節省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃！
符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
專用于滿足特殊顆粒計數要求，儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。

產品參數

通道個數	6
粒徑	0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源	氦氖激光器
重量	不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤
尺寸	33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
機箱材質	便于清洗的鈍化不銹鋼
流速	1.0 CFM (28.3 LPM)
零計數	ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區間
符合損失	在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標準
泵的類型	可供連續使用的的多瓣閉路循環控制泵
計數效率	在0.1 µm時為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時為 *
運行溫度	10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%，無冷凝
顯示	? VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機	高速熱敏打印機
語言	英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語，日語，中文
可以顯示的*大數值	9,999,999 displayed
延遲時間	15秒鐘至23小時59分59秒
采樣/停留時間	1秒鐘至23小時59分59秒
計數警報	1~ 9,999,999 個計數值
位置	編號：0 至 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上
數據存儲	5,000 個樣品，在歷史數據查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)
輸出	USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協議的以太網配有802.11g通訊協議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統 (警報和掃描探頭)
鋰電池，可充電、可熱插拔	Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入	空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭
自動 CDA 清洗	連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活
電源	24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型	智能鋰電池，可充電，可熱插拔
電池使用時間	*短 3 小時
電池的充電時間	電池的充電時間
包含電池數量	2組

MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器的隨附配件

部件編號	描述
2087966-01	等動力探頭1.00 CFM，鍍鎳鋁制3/8“倒鉤接頭
960380	樣品管，內徑 3/8" ，長 10英尺
2088035-01	等動力探頭適配器，鋁制
970650	等動力探頭三腳架
230-300-7052	24VDC電源輸出
VP623500	電源線：115VAC, 6' L
VP623501	電源線：115VAC, 6' L
2087939-01	零計數過濾器 1CFM
2087090	PortAll 軟件,CD
460519	打印紙，2卷
280-120-2024	2組鋰電池
210-400-5171	觸摸屏手寫筆
2088010-01	128M USD閃存驅動
410-150-0011	3針微型接線端子
410-420-0020	接線端子罩殼
490-200-0001	無線天線，附帶無線版本P / N 2088800-02

MET ONE 3411 便攜式空氣計數器可選配件

部件編號	描述
CAL_GAS_3411	3411型的氣體校準，包括氦、氬、二氧化碳和氮氣
701241-01	3400系列IQ / OQ 驗證文件（CD）
2087966-02	等動力探頭1.0 CFM，不銹鋼制3/8“倒鉤接頭
2089406-01	等動力探頭支架
460519	打印紙（價格以每卷計）
280-300-5000	智能電源充電器
280-120-2024	智能鋰電池
2088928	溫度和相對濕度探針VAISALA HMP50
2087939-01	零點計數過濾器（1.0 CFM型）
460-400-4798	電纜，USB2.0 高速，1m
2084045-02	Particle Vision PortAll, 2.0.x版，套件，下載工具軟件，適配器和說明書（串行電纜需單獨購買）
700011-21	PortAll 許可標準版
2088000-01	過濾器掃描探頭（電子式）1 CFM
2088000-02	過濾器掃描探頭（無電子式）1 CFM
2088012-02	適配器，USB轉RS232，USB線纜
2088012-01	適配器，USB轉RS485，USB線纜
2080732-8	高壓擴散器，用于 1.0 CFM 設備。