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北京堀場匯博隆精密儀器有限公司
北京堀場匯博隆精密儀器有限公司
專業質量流量計/質量流量控制器研發廠家-堀場匯博隆
產品適用于各種氣體，精度高，零漂小，無需矯正可任意角度安裝。
公司：
公司：www.horibametron.com
氣體質量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
半導體制造行業的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統和泄露探測系統等。
2. S49系列質量流量控制器(流量計)型號
S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)，S49為質量流量控制器(流量計)產品，32/MT為本公司此產品設計序列號。
質量流量計用于對氣體的質量流量精確測量計量；
質量流量控制器(流量計)不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質量流量功能。
型式批準證書：2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業標準
許可證編號：京制01050063號
3.主要技術指標
質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標準)
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業標準)
標準狀態為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 | 項目 | S49 32/MT |
1 | 流量規格 | （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
4 | 準確度 | ±1.5%F.S |
5 | 線性 | ±1.5%F.S |
6 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響應時間 | ≤8秒（T95） |
8 | 工作壓差范圍 | （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環境溫度 | （5～45）℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標準密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用戶 |
13 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶 |
15 | 輸入輸出信號 | （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 | 外形尺寸mm | 130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 | 重量kg | 0．8 |
圖一 熱式質量流量控制器(流量計)的工作原理
質量流量控制器(流量計)由質量流量傳感器，分流器通道，流量控制調節閥和放大控制電路等部件組成。
本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。
采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅動控制調節閥門，通過閉環，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
分流器在主通道和毛細管間產生層流，控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。
與之配套使用的MT-50 系列流量顯示儀備有±15V直流電源，3 位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關，調零等。為質量流量計或控制器提供工作電源，設定控制和顯示等功能。控制器的設定輸入、流量輸出信號均為電壓形式，量程范圍為0～+5V。質量流量控制器(流量計)與MT-50 流量顯示儀連接后的工作原理如圖1 所示。
控制器一般與MT-50，MT-51 或與之相兼容的流量顯示儀連接。
如與MT-51 數字式流量顯示儀連接，則構成數字式流量顯示控制。該數字式流量顯示儀提供RS-232C接口，或RS-485 接口，Modbus協議，無需附加A/D,D/A 轉換卡，而實現與計算機網絡電氣連接、以及與組態軟件的連接。
如S49 32/MT 流量控制器直接與計算機連接,則需要用戶自行提供電源和A/D,D/A 轉換卡等。
控制操作一般在流量顯示儀上進行。當設定與“內”設相連時，由流量顯示儀上的設定電位器控制流量。當與“外”設相連時，由用戶另外提供的外部（0～+5）V 電壓控制流量。
在流量顯示儀的顯示面板上設置有三位閥門控制開關，當置“關閉”位時，閥門關閉；當置“清洗”位時，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或臨時作為流量計使用；當置于“閥控”時，則按設定電位器的數值自動控制流量。（參考流量顯示儀的使用說明書）
注意：在“清洗”時，實際氣流將超過滿量程若干倍，此時流量顯示值不準確，還可能出現流量增大顯示反而減小的現象，這是由熱式質量流量計的特性決定，屬于正常現象。對不希望出現大氣流“清洗”的場合，用戶應自行限制。。
不*長時間置“清洗”位，此時閥門開度zui大，而利用流量控制器*做流量計或開啟閥使用。因為此時電磁閥、線路等將會流過很大的電流，因而加速其熱老化損壞。
5. 安裝和接線
5.1 S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)外形及安裝尺寸如圖二所示
圖二 S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)外形及安裝尺寸
注意：圖中標明的高度，是未加電纜插頭的高度。
5.2 入口和出口氣路接頭
可以根據用戶的不同需求，選用兩種類型：
1. 雙卡套（Swagelok）；a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。
2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″.
連接方法如圖三，圖四所示:
圖三 雙卡套接頭的連接方法
圖四 VCR 接頭的連接方法
質量流量控制器(流量計)與氣路的連接，可以根據不同的要求，選用不同的管件，如金屬管，塑料管等等。 S49 32/MT 系列質量流量計和流量控制器的缺省連接形式為雙卡套，接管尺寸為Φ6。
5.3 質量流量控制器(流量計)的接線
圖五 DB15/F 孔型 插座接口定義圖
S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)的接線插頭，考慮到其兼容性，主要采用DB-15/F 孔型插座，其接線方法如圖五所示。
信號0V,電源地（0V）在流量控制器內是連在一起的，其與0V(E0大電流，即閥0V線)在流量控制器內并沒有連接。在直流電源處，±15V電源0V，+5號0V應連在一起，并與流量控制來的“信號0V”,“電源地（0V）”，“0V(E0大電流)”三條線相連。
“大地（Earth）”是外殼接地線，其與閥流量計金屬底座是通過第8腳（孔型插座）在內部連在一起的，其應與控制電纜金屬屏蔽網連接，以實現屏蔽一體。應在直流電源處采取有效屏蔽、隔離等措施，防止干擾信號串入流量計系統。
將“大地（Earth）”線與直流供電電源0V直接或通過大電容實現一點接地（應避免存在的多處接地，防止接地回路形成），形成零、地等電位，也是有效抵抗干擾的方法之一。應避免金屬外殼等由于安裝原因帶有較強的干擾源，防止可能形成的強的地電流回路，而燒毀流量控制器內部線路！！！應掌握一點接地原則，采用絕緣、隔離等方法，防止接地回路形成。
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