低溫等離子體技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
①介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術（電暈放電）的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；
②技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果。
③氣體通過部分，全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了低溫等離子體技術設備腐蝕問題；
④主機為成套工業廢氣處理裝置，前面配有塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單；
⑤自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源；
⑥運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢。
⑦應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準；
⑧技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，是通過高能量等離子體對污染物的直接擊穿和直接轟擊，使分子鏈斷裂，并非污染物的轉移；
⑨重要特點：以非甲烷總烴為例，用色譜法檢測，非甲烷總烴去除率也許只有45%，但惡臭異味的去除率達90%。這是因為非甲烷總烴經過處理后，部分分子變成小分子，用色譜法檢測時，依然表現為非甲烷總烴；惡臭異味的去除率高，表明實際已經分解了90%以上的污染物質，因為分解后的物質也有部分有異味；