性能參數
| 型號 | 真空吸氣量 | 壓縮機排氣量（m3/min） | 電機功率 （kW） | 轉速 r/min | 水耗量 L/min | 真空度 % | 壓力 MPa | 泵重（包括電機） kg | |||||||||
| 當真空度為 | 當壓力為（） | 真空泵 | 壓縮機 | ||||||||||||||
| 0% | 40% | 60% | 80% | 90% | 0 | 0.05 | 0.08 | 0.1 | 0.15 | ||||||||
| Sz-1 | 1.5 | 0.64 | 0.4 | 0.12 | 1.5 | 1 | 4 | 5.5 | 1440 | 10 | 84 | 0.01 | 310 | ||||
| Sz-2 | 3.4 | 1.65 | 0.95 | 0.25 | 3.4 | 2.6 | 2 | 1.5 | 7.5 | 11 | 1440 | 30 | 87 | 0.14 | 380 | ||
| Sz-3 | 11.5 | 6.8 | 3.6 | 1.5 | 0.5 | 11.5 | 9.2 | 8.5 | 7.5 | 3.5 | 22 | 37 | 980 | 70 | 92 | 0.21 | 1300 |
| Sz-4 | 27 | 17.6 | 11 | 3 | 27 | 26 | 20 | 16 | 9.5 | 75 | 90 | 740 | 100 | 93 | 0.21 | 2000 | |
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