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東山真空設備有限公司


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真空泵真空區域的劃分

閱讀：266發布時間：2011-04-21

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真空區域劃分：

真空區域
壓強范圍
托（Torr）
帕（Pa）
低真空
760-10
101325-1333
中真空
10-10-3
1333-1.33×10-1
高真空
10-3 -10-8
1.33×10-1-10-6
超高真空
10-8-10-12
10-6-10-10
*真空
＜10-12
＜10-10

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