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上海百賀儀器科技有限公司

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378系列-半導體檢測用顯微鏡

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產品型號FS-70

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更新時間：2024-02-18 13:40:02瀏覽次數：113次

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產品簡介

378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的光學系統是為的FS60型（后升為FS70型）而開發的。378系列-半導體檢測用顯微鏡它作為測量檢測半導體器件的顯微鏡是很理想的。

詳細介紹

378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的特點
1.此光學系統最初是為的FS60型（后升為FS70型）而開發的。它作為測量檢測半導體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，FS70L4支持2種波長（532nm,266nm），可在半導體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術。這就擴大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微鏡的激光穖的性能和安全性，三豐公司不負責任。我們推薦在選購激光發射器時應仔細檢查。
3.FS70Z的標準功能有：亮視場，微分干涉對比（DIC）和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內置式轉換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
5.極易操作的設計：FS70采用正像光學系統（視場中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調手輪。

378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的性能參數

型號

FS-70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

JS70L4-TH

貨號

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3

短基座型號

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

貨號

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

對焦

50mm行程，同心焦距粗調（3.8mm/rev)和微調（0.1mm/rev)手輪（左、右0）

圖像

正像

瞳距

Siedentopf型、調節范圍

視場數

俯角

0°至20°

透過率

50/50

100/0或0/100

50/50

100/0或0/100

管鏡頭

內置激光射線濾光片

適用激光

1×

2×zoom

1×

適用激光

1064/532/355mm

532/355mm

相機端口

C-mount(使用適配器B選件）

使用帶有電視端口的激光片

C-mount插座（帶有綠色濾光片轉換開關）

照明系統、可選

亮視場反射照明（科勒照明、帶光圈） 12V 100W光纖、無極亮度調節、光導長度：1.5m、功耗150W

物鏡、可選

M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo

物鏡、可選

M/LCD Plan NIR

M/L CD Plan NUV

M Plan UV

載重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

重量（主機）

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

378系列--半導體檢測用顯微鏡FS-70的技術參數
對焦
方法：有同心粗調和微調手輪（左和右）
范圍：50mm測量范圍，微調0.1mm/rev同心粗調3.8mm/rev
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調節范圍：51-76mm
視場數：24
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號）
照明系統：亮視場反射照明（科勒照明、帶光圈）
光源：12V100W光纖、無極亮度調節），光導長度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo