水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):電阻率≥15MΩ.cm,達(dá)到中國電子Ⅱ級用水標(biāo)準(zhǔn)
電阻率≥18MΩ.cm,達(dá)到中國電子Ⅰ級用水標(biāo)準(zhǔn)
工藝:一級反滲透 混床
標(biāo)準(zhǔn)配制:原水→原水箱→原水泵→絮凝劑裝置→機(jī)械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透裝置→中間水箱→中間水泵→混床→純水箱→輸送泵→紫外/臭氧殺菌→終端過濾→用水點(另配RO膜清洗裝置)
電子級超純水中國標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)
項目 級別 | 比電阻 MΩ.cm | 硅 ≤ μg/L | >1μm微粒數(shù)<個/ml | 細(xì)菌個數(shù)<個/ml | 銅≤ μg/L | 鋅≤ μg/L | 鎳≤μg/L | 鈉≤ μg/L | 鉀≤ μg/L | 氧≤ μg/L | 硝酸根≤ μg/L | 磷酸根≤ μg/L | 硫酸根≤ μg/L | 總有機(jī)碳≤ μg/L |
EW-Ⅰ | 18(95%的時間不低于17) | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW-Ⅱ | 15(95%的時間不低于13) | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 |
系統(tǒng)特點:
●系統(tǒng)采用全自動控制(同時亦可采用手動控制),系統(tǒng)運行時可設(shè)定自動反洗、再生程序;
●一級反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道,反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置和消毒裝置;
●在一級反滲透和二級反滲透間設(shè)有PH調(diào)節(jié)裝置,以保證設(shè)備產(chǎn)水電導(dǎo)率符合藥典要求;
●二級反滲透膜采用帶正電荷的抗污染反滲透膜,以保證反滲透設(shè)備能*穩(wěn)定運行;
●一級反滲透管路采用304不銹鋼材料,二級反滲透采用316L不銹鋼材料;
●在*級反滲透和第二級反滲透設(shè)備中均裝有在線電導(dǎo)檢測儀表,產(chǎn)水電導(dǎo)率可隨時觀看;
●一級反滲透前設(shè)有低壓保護(hù)開關(guān),二級反滲透前設(shè)有低壓保護(hù)和高壓保護(hù)開關(guān);
●一級、二級反滲透水回收率可調(diào)整,一級反滲透回收率60%-65%,二級反滲透回收率70%;
●前處理裝置均采用*件;前處理設(shè)備間管路采用UPVC管材。
●純化水儲水罐帶呼吸過濾器,輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器,保證純水符合衛(wèi)生要求;
我公司電子級超純水設(shè)備出水水質(zhì)*符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標(biāo)準(zhǔn))、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
光電行業(yè)對水質(zhì)的要求:
新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。
應(yīng)用場合:
☆半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏;
☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn);
☆半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗;
☆超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料;
☆實驗室和中試車間;
☆汽車、家電表面拋光處理;
☆光電產(chǎn)品;
☆其他高科技精微產(chǎn)品;
典型電子級超純水制備工藝: ☆預(yù)處理----反滲透----水箱----陽床----陰床----混合床----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----精制混床----微孔膜過濾器----用水對象
☆預(yù)處理----一級反滲透----pH調(diào)節(jié)裝置----中間水箱----二級反滲透----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象
☆預(yù)處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----微孔膜過濾器----用水對象 新工藝
☆預(yù)處理----二級反滲透----中間水箱----水泵----EDI裝置----純水箱----純水泵----紫外線殺菌器----拋光混床----TOC分解器----微孔膜過濾器----用水對象 工藝
型 號 | 產(chǎn)水量(M3/H) | 管 徑(mm) | 工作壓力(MPa) | 材 質(zhì) | 工作方式 |
MOLELCTRON-0.5 | 0.5 | DN20 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-1 | 1 | DN25 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-2 | 2 | DN32 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-3 | 3 | DN40 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-5 | 5 | DN50 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-10 | 10 | DN75 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-20 | 20 | DN100 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-30 | 30 | DN125 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-40 | 40 | DN150 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |
MOLELCTRON-50 | 50 | DN200 | ≤1.6 | 不銹鋼/碳鋼 | 全自動/半自動 |