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北京嘉潤通力科技有限公司


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等離子刻蝕機/Plasma Etching

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更新時間：2024-10-05 08:42:03瀏覽次數：63次

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所在地區：北京

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產品簡介

適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗，鍍膜

詳細介紹

  • 適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗，鍍膜。
  • 處理時的因熱負荷及機械負荷都很低，故也可處理敏感性材料。
  • 典型應用：等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應用、等離子刻蝕反應、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。
設備參數

  • 處理面：直徑10.5"不銹鋼裝載裝置，水冷陶瓷絕緣
  • 真空腔：內徑15"陽極電鍍鋁，表面氧化處理
  • 處理均勻性±5%
  • 水冷機：W16"× D36"× H24"
  • 氣體箱：W30"× D24"× H12"
外部連接

  • 電源：220V AC 30mA 50/60Hz
  • 壓縮空氣或氮氣：80-100PSI 1/4"快速接頭QC
  • 處理氣體：15PSI 100sccm 1/4"外螺紋VCR接頭
  • 排氣：50CFM KF40快卸緊固法蘭
  • 水冷：30-60PSI 3/8"快速接頭QC
基本配置

  • 電源配給，RIE
  • 安全互鎖裝置
  • 通訊接口模塊
  • 設備水電氣連接系統
  • 控制器
RIE配置

  • 等離子射頻電源 RF600W（可選裝RF1000W）
  • 氣體流量控制：MFC質量流量計×4（1路適用于氯氣）
  • 裝載配置：真空裝載腔真空系統、真空裝載腔加熱組件
  • 控制系統：電腦控制、標準19"液晶顯示屏
  • 真空泵：分子渦輪泵、機械泵（干泵）8cfm-C
  • 真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲腔


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