* 真空艙體 Φ100mm × L270 mm 水平 （2 升）
* 外形尺寸W345mm ×H220mm ×D420mm
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器
* 高效針孔電極
* 銅氣體管、氣體流量計、針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續可調 0-100W
* 自動阻抗匹配
* 自由設置參數：處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能：真空觸發、艙門鎖
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type S1.5（1.5m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器
* 2.45 GHz 射頻發生器
* 硅酸鹽艙體（外置環形電極）或石英艙體
配件選裝指南:
· 13.56MHz射頻發生器
· 2.45GHz射頻發生器
· 半自動控制系統
· 全自動控制系統 - 操作輕松簡便的控制系統
· 計算機（PC）控制系統 - 操作輕松簡便的控制系統同時可記錄處理的整個過程
· 附加氣體通路
· 自動真空艙門· 設備自動門
· 條碼閱讀器
· 偏壓測量系統
· 碟型閥
· 排氣過濾系統
· 適用于腐蝕性氣體系統
· 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
· 粉末處理裝置
· 法拉第容器
· 氣體供給系統 - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體
· 玻璃艙體（硅酸鹽或石英）
· 預熱板
· 等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環境中
· 真空泵抽氣入口過濾器
· 標簽打印機
· 標簽閱讀機
· 加深艙體
· 單體瓶 - 輕松的控制不穩定的液體含量
· 網絡連接系統
· 聚合處理附件
· 氣瓶出氣減壓閥
· 石英玻璃皿
· 卷軸艙體系統- 適用于批量處理薄膜、箔等
· RIE電極（適用于刻蝕）
· 旋轉艙體系統 - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
· 安全閥
· 服務條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的電極和托盤
· 特殊法蘭/附加法蘭
· 特殊軟件
· 特殊真空艙體
· 過程溫度測量
· 測試墨水（用于測試表面接觸角）
· 真空泵系統
