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上海懿宏科學儀器有限公司


CRX-6.5k 低溫真空探針臺

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更新時間:2022-10-13 13:47:01瀏覽次數:183次

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產品簡介

美國 Lake Shore CRX-6.5K探針臺是一個低成本不需要低溫制冷劑的探針臺,它可以對器件進行非破壞性的測試,器件的尺寸可達到51mm(2inch)。它可以對材料或器件的電學特性測量、光電特性測量、參數測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。一般來講,納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在CRX- 6.5K進行測量的比較典型的材料。系統的探針、......

詳細介紹


產品介紹

使用Sumitiomo 公司的6.5K閉循環制冷機,不需要消耗液氦和液氮,CRX- 6.5K的溫度變化范圍10K到350K,加上一個可以更換的高溫樣品架選件,溫度變化范圍20K到675K。每一個低溫樣品級都安裝溫度計和加熱器,可以提供快速的熱響應,快速迅速回到室溫,樣品更換非常方便。熱輻射屏大大降低了黑體輻射,提高了制冷效率。

系統采用了精心的設計來減低振動,采用各種減震裝置阻止機械振動影響測量的性能。在全量程溫度范圍內,樣品的振動小于1um ( X, Y, Z軸)。

美國 Lake Shore CRX-4K最多可安裝6個可以進行微調整的探針臂,每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。微波探頭可以±5°旋轉,使樣品可以更好的和探針匹配。DC探針低噪音,低漏電流,熱接觸好。RF探針可以頻率到67GHz.,光線可以從窗口入射,也可以通過光纖導入。專用的探針根據尺寸和材料不同,分為多種類型,探針減少了熱質量,優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱,這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。


產品特點

    ● 采用閉循環制冷機制冷,不需消耗任何液氮或液氦,基本系統溫度范圍:10K到350K

    高溫選件溫度范圍:20K到675K

    系統冷卻時間<3.5小時

    探針臂分別在防輻射屏和樣品臺上熱沉,溫度可以達到25K

    探針臂傳上安裝溫度感器進行溫度監測

    控溫穩定性:±50mK

    樣品更換循環時間4小時

    低振動設計:在樣品臺<2μm ( X, Y, Z軸)

    測量DC到67GHz

    各種樣品架適于低噪音,高頻,高阻測量

    測試樣品尺寸51mm(2in)直徑

    最多可使用6個探針臂

    探針臂可進行3軸調整和平面內±5度的調整


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